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Cleanroom Kawasaki NS411
Robots de la série NS conçus pour l'application en salle blanche NS411 (bras simple avec rabat) avec mouvement RTZ avec des longueurs optionnelles d'un axe linéaire pour une plage FOUP supplémentaire. Ils offrent des performances élevées dans la manipulation de plaquettes de 300 mm. Le logiciel et le matériel sont équipés de fonctions de détection de collision et sont conformes aux normes d'exonération de tension SEMI F47 et aux normes environnementales, sanitaires et de sécurité SEMI S2.
Contrôleur D
Les contrôleurs D sont conçus pour développer des applications en salle blanche comprenant un processus d'asservissement numérique complet, port de communication Ethernet standard, encombrement réduit, développement flexible de différents logiciels, fonctionnement indépendant de deux bras et commandes multi-axes, servoamplificateurs uniformes pour tous les axes, normes environnementales , santé et sécurité SEMI S2, salle blanche ISO 1.
Spécification du contrôleur D60
Système numérique complet Servo
Axes contrôlés: maximum 7 axes
Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
Matériel: RS232C x 1 Ethernet.
Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
Signal d'entrée: 16 canaux maximum.
Signal de sortie: Maximum de 8 canaux
Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Axes contrôlés: maximum 7 axes
Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
Matériel: RS232C x 1 Ethernet.
Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
Signal d'entrée: 16 canaux maximum.
Signal de sortie: Maximum de 8 canaux
Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Spécification du contrôleur D61
Système numérique complet Servo
Axes contrôlés: maximum 12 axes
Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
Matériel: RS232C x 2 Ethernet.
Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
Signal d'entrée: 96 canaux maximum
Signal de sortie: Maximum de 80 canaux
Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Axes contrôlés: maximum 12 axes
Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
Matériel: RS232C x 2 Ethernet.
Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
Signal d'entrée: 96 canaux maximum
Signal de sortie: Maximum de 80 canaux
Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Principales spécifications
Nombre d'axes: 4
Classe ISO 2
Répétabilité: ± 0,1 mm (centre de la plaquette)
Contrôleur: D60 / D61
Classe ISO 2
Répétabilité: ± 0,1 mm (centre de la plaquette)
Contrôleur: D60 / D61
Plage de mouvement (°)
Axe Y (course JT1): 2 FOUPE: 660 mm / 3 FOUPE: 1 070 mm / 4 FOUPE: 1 670 mm
Axe θ (rotation JT2): 325 °
Axe Z (JT3 haut-bas): 380 mm
Axe X (JT4 haut-bas): 798 mm
Axe F (rotation JT5): 156 °
Axe θ (rotation JT2): 325 °
Axe Z (JT3 haut-bas): 380 mm
Axe X (JT4 haut-bas): 798 mm
Axe F (rotation JT5): 156 °
Applications de robot
Chambre propre
