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川崎洁净室NX510
NX510是一个机器人，它具有刚性的臂结构，可以很容易地到达晶圆的台阶，空间狭小，以及FOUP在任意位置。可以与2个或3个FOUP无轨道使用，满足ISO 1级标准的SEMI-F47系统即刻解决电压恢复时自动系统的电压下降和重启，标准SEMI-S2保护环境和人身安全，防撞系统，线性度高，定位精度高。
控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用，包括完整的数字伺服过程，标准的以太网通信端口，紧凑的占地面积，灵活的不同软件开发，双臂和多轴控制的独立操作，全轴统一伺服放大器，标准环境，健康安全SEMI S2，白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴：最多7轴
- 手动，半自动，全自动教学。
- 外部紧急停车，接近安全，外部停车。
- 硬件：RS232C x 1以太网。
- 软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
- 能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
- 输入信号：最多16个通道。
- 输出信号：最多8个通道
- 兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV
D61控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴：最多12个轴
- 手动，半自动，全自动教学。
- 外部紧急停车，接近安全，外部停车。
- 硬件：RS232C x 2以太网。
- 软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
- 能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
- 输入信号：最多96个通道
- 输出信号：最多80个通道
- 兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV
主要规格
轴数：4
ISO 1级
链接：2
重复性：±0.1毫米（晶圆中心）
控制器：D60 / D61
ISO 1级
链接：2
重复性：±0.1毫米（晶圆中心）
控制器：D60 / D61
运动范围（°）
| θ轴 （旋转JT2） |
330° |
| 440毫米 | |
| Z轴 （上下JT3） |
832毫米 |
| 336° | |
| X轴 （进/出JT4） |
|
| W轴 - 较低 （旋转JT6） |
- |
| W轴 - 上 （旋转JT7） |
|
机器人应用
整理房间
