FOUPからアライナーまで、そしてダブルマニピュレーターアームを使用してステージまで300枚/時（WPH）の高性能スペースを備えたウェーハステージに簡単に到達できる3リンクNX540構造は、 ISOクラス1の標準を満たし、電圧低下に直ちに対処する標準SEMI-F47システム、電圧に復帰したときの自動システムの再起動、環境への標準SEMI-S2保護、個人安全、システム衝突防止
コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸：最大7軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
- ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
- エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
- 入力信号：最大16チャンネル。
- 出力信号：最大8チャンネル
- 対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸：最大12軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア：RS232C x 2イーサネット。
- ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
- エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
- 入力信号：最大96チャンネル
- 出力信号：最大80チャンネル
- 対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
軸数：4
ISOクラス1
リンク：3
繰り返し精度：±0.25 mm
コントローラ：D60 / D61
ISOクラス1
リンク：3
繰り返し精度：±0.25 mm
コントローラ：D60 / D61
動作範囲（°）
| θ軸 （回転JT2） |
318° |
| 440 mm | |
| Z軸 （アップダウンJT3） |
1,232 mm |
| 336° | |
| X軸 （in / out JT4） |
|
| W軸 - 下 （回転JT6） |
- |
| W軸 - 上 （回転JT7） |
ロボットアプリケーション
クリーンルーム
